Historia współpracy Intela i ASML

Intel współpracował z ASML w celu opracowania technologii maszyn do litografii EUV. Chociaż Intel zainwestował 4,1 miliarda dolarów, aby stać się największym udziałowcem ASML, na wczesnych etapach masowej produkcji maszyn litograficznych EUV Intel nie zakupił sprzętu ze względu na kluczowe problemy techniczne.