Historie spolupráce mezi Intel a ASML

Společnost Intel spolupracovala s ASML na vývoji technologie litografického stroje EUV. Přestože Intel investoval 4,1 miliardy USD, aby se stal největším akcionářem ASML, v raných fázích hromadné výroby litografických strojů EUV Intel nekoupil zařízení kvůli klíčovým technickým problémům.