Povijest suradnje između Intela i ASML-a

Intel je surađivao s ASML-om na razvoju EUV litografske strojne tehnologije. Iako je Intel uložio 4,1 milijardu američkih dolara kako bi postao najveći dioničar ASML-a, u ranim fazama masovne proizvodnje EUV litografskih strojeva, Intel nije kupio opremu zbog ključnih tehničkih problema.