Sejarah kerjasama antara Intel dan ASML

Intel telah bekerja sama dengan ASML untuk mengembangkan teknologi mesin litografi EUV. Meskipun Intel menginvestasikan US$4,1 miliar untuk menjadi pemegang saham terbesar ASML, pada tahap awal produksi massal mesin litografi EUV, Intel tidak membeli peralatan tersebut karena masalah teknis utama.