تاریخچه همکاری بین اینتل و ASML

اینتل برای توسعه فناوری دستگاه لیتوگرافی EUV با ASML همکاری کرده است. اگرچه اینتل برای تبدیل شدن به بزرگترین سهامدار ASML 4.1 میلیارد دلار سرمایه گذاری کرد، اما در مراحل اولیه تولید انبوه دستگاه های لیتوگرافی EUV، اینتل به دلیل مسائل فنی کلیدی تجهیزات را خریداری نکرد.