Ανάπτυξη τεχνολογίας ανάπτυξης μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου

Οι τεχνολογίες ανάπτυξης μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου περιλαμβάνουν κυρίως τη μέθοδο φυσικής μεταφοράς ατμών (PVT), τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών υψηλής θερμοκρασίας (HTCVD) και τη μέθοδο υγρής φάσης. Η μέθοδος PVT είναι επί του παρόντος η κύρια μέθοδος προετοιμασίας, αλλά ο ρυθμός ανάπτυξης είναι αργός. Η μέθοδος HTCVD έχει ταχύτερο ρυθμό ανάπτυξης και παρουσιάζει μεγάλες δυνατότητες. Η μέθοδος υγρής φάσης ήταν ευρέως δημοφιλής στη δεκαετία του 1960, αλλά με την τεχνολογική ανακάλυψη της μεθόδου PVT, σταδιακά περιθωριοποιήθηκε. Ωστόσο, καθώς η μέθοδος PVT αντιμετωπίζει προκλήσεις στην κατασκευή κρυστάλλων SiC μεγάλου μεγέθους και στη μείωση του κόστους, η μέθοδος υγρής φάσης έχει αναζωπυρώσει την προσοχή της βιομηχανίας.