國內企業在碳化矽單晶生長領域的進展

2020年，超芯星公司宣布成功研發了國內首台HTCVD碳化矽單晶生長設備。此外，天嶽先進公司和晶格領域半導體公司也在液相法方面取得了進展，成功生產出大尺寸碳化矽晶體。