炭化ケイ素単結晶育成分野における国内企業の歩み

2020年、Chaoxingxing Companyは中国初のHTCVD炭化ケイ素単結晶成長装置の開発に成功したと発表した。さらに、Tianyue Advanced CompanyとLattice Field Semiconductor Companyも液相法を進歩させ、大型の炭化ケイ素結晶の製造に成功した。