Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний дээд урсгалын шинжилгээ

Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний дээд хэсэг нь үндсэндээ субстрат ба эпитакси гэсэн хоёр холбоосыг агуулдаг. Субстрат нь үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний гол хэсэг бөгөөд цахиурын карбидын төхөөрөмжийн зардлын 47% -ийг эзэлдэг. Эпитакси нь цахиурын карбидын төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулах түлхүүр юм.