Analisi della catena industriale a monte del carburo di silicio

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La parte a monte della catena industriale del carburo di silicio comprende principalmente due anelli: substrato ed epitassia. Il substrato è la parte centrale della catena industriale e rappresenta il 47% del costo dei dispositivi in carburo di silicio. L'epitassia è la chiave per migliorare le prestazioni e l'affidabilità dei dispositivi in carburo di silicio.