Phân tích thượng nguồn của chuỗi công nghiệp cacbua silic

43
Thượng nguồn của chuỗi công nghiệp cacbua silic chủ yếu bao gồm hai liên kết: chất nền và epitaxy. Chất nền là phần cốt lõi của dây chuyền công nghiệp, chiếm 47% giá thành của các thiết bị cacbua silic. Epitaxy là chìa khóa để cải thiện hiệu suất và độ tin cậy của các thiết bị cacbua silic.