Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний үнэ цэнийн хуваарилалт ба эпитаксийн ач холбогдол

2024-12-25 00:33
 39
Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээнд субстрат ба эпитакси нь дээд талын холбоосууд бөгөөд цахиурын карбидын цахилгаан төхөөрөмжийн зардлын бүтцийн 47% ба 23% -ийг бүрдүүлдэг. Өндөр чанартай цахиурын карбидын эпитаксиаль хавтангийн үйлдвэрлэлийн саад бэрхшээл нь өндөр бөгөөд цахиурын карбидын эпитаксиаль хавтангийн эрэлт хэрэгцээ дэлхийн зах зээлд хүчтэй байдаг тул өндөр чанарын цахиурын карбидын эпитаксиаль хавтангийн нийлүүлэлт бага байдаг. Эпитаксиаль давхарга нь субстратын тодорхой согогийг арилгаж, болор торыг тэгшлэх боломжтой бөгөөд энэ нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд шийдвэрлэх нөлөө үзүүлдэг.