Distribuzione del valore della catena industriale del carburo di silicio e importanza dell'epitassia

Nella catena industriale del carburo di silicio, il substrato e l'epitassia sono collegamenti a monte, che rappresentano rispettivamente il 47% e il 23% della struttura dei costi dei dispositivi di potenza in carburo di silicio. Gli ostacoli alla produzione di wafer epitassiali in carburo di silicio di alta qualità sono elevati e la domanda globale a valle di dispositivi in ​​carburo di silicio è forte, con conseguente fornitura limitata di wafer epitassiali in carburo di silicio di alta qualità. Lo strato epitassiale può eliminare alcuni difetti nel substrato e allineare il reticolo cristallino, il che ha un impatto decisivo sulle prestazioni del dispositivo.