Silicio karbido pramonės grandinės vertės pasiskirstymas ir epitaksijos svarba

39
Silicio karbido pramonės grandinėje substratas ir epitaksė yra prieš srovę nukreiptos grandys, kurios sudaro atitinkamai 47 % ir 23 % silicio karbido galios įrenginių sąnaudų struktūros. Aukštos kokybės silicio karbido epitaksinių plokštelių gamybos kliūtys yra didelės, o pasaulinė vartotojų paklausa silicio karbido prietaisams yra didelė, todėl aukštos kokybės silicio karbido epitaksinių plokštelių pasiūla yra nedidelė. Epitaksinis sluoksnis gali pašalinti tam tikrus pagrindo defektus ir išlyginti kristalinę gardelę, o tai turi lemiamos įtakos įrenginio veikimui.