Silikonkarbied-epitaksiale toerusting en epitaksiale wafer-markanalise

56
Die silikonkarbied-epitaksiale toerusting en epitaksiale wafelmark word hoofsaaklik oorheers deur maatskappye soos Axitron, LPE, TEL en Nuflare. Geleidende SiC-substrate word hoofsaaklik gebruik om kragtoestelle te vervaardig, terwyl semi-isolerende SiC-substrate gebruik word om radiofrekwensietoestelle te vervaardig.