ممکن است TSMC از دستگاه لیتوگرافی نسل بعدی ASML High NA EUV استفاده نکند

یکی از مدیران TSMC گفت که این شرکت لزوماً نیازی به استفاده از نسل بعدی دستگاه لیتوگرافی High NA EUV ASML برای تولید فناوری تراشه A16 آینده خود در سال 2027 ندارد. اگرچه انتظار می‌رود دستگاه‌های لیتوگرافی High NA EUV اندازه تراشه را تا دو سوم کاهش دهند، TSMC باید هزینه و قابلیت اطمینان آن را بسنجید. TSMC ممکن است Fab A16 خود را برای تطبیق با این فناوری طراحی کند، اما هنوز مشخص نشده است.