TSMC ja Samsung on huvitatud ASML-i suure numbrilise avaga EUV tööriistade kasutamisest

Nii TSMC kui ka Samsung on väljendanud oma kavatsust kasutada ASML-i suure numbrilise avaga EUV tööriistu, kuid pole veel teatanud konkreetsest kasutusajast. ASML on seni saanud 10–20 tellimust, sealhulgas pilootseadmete jaoks mäluspetsialistidelt SK Hynix ja Micron.