TSMC dan Samsung tertarik menggunakan alat EUV aperture numerik tinggi ASML

Baik TSMC maupun Samsung telah menyatakan niat mereka untuk menggunakan alat EUV aperture numerik tinggi ASML, tetapi belum mengumumkan waktu penggunaannya secara spesifik. ASML sejauh ini telah menerima 10 hingga 20 pesanan, termasuk peralatan percontohan dari spesialis memori SK Hynix dan Micron.