Meiai Technology fornisce prodotti chiave a Shanghai Microelectronics

Meiai Technology fornisce EFU (apparecchiatura ultrasottile con ventola incorporata) per l'ambiente pulito della macchina di litografia richiesto da Shanghai Microelectronics, che sviluppa la prima apparecchiatura di litografia domestica da 28 nanometri, il più alto standard internazionale di livello di pulizia (Classe ISO 1) . Unità filtranti) e ULPA (filtri ad altissima efficienza) e altri prodotti aiutano l'industria domestica delle macchine litografiche a superare i problemi tecnici bloccati.