मेईई टेक्नोलॉजी शंघाई माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स को प्रमुख उत्पाद प्रदान करती है

मेईई टेक्नोलॉजी शंघाई माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स द्वारा आवश्यक लिथोग्राफी मशीन के स्वच्छ वातावरण के लिए ईएफयू (अंतर्निहित पंखे के साथ अल्ट्रा-थिन उपकरण) प्रदान करती है, जो पहला घरेलू 28-नैनोमीटर लिथोग्राफी उपकरण विकसित करती है, जो उच्चतम अंतरराष्ट्रीय स्वच्छता स्तर मानक (आईएसओ क्लास 1) है। फ़िल्टर इकाइयाँ) और ULPA (अल्ट्रा-हाई-एफिशिएंसी फ़िल्टर) और अन्य उत्पाद घरेलू लिथोग्राफी मशीन उद्योग को अटकी हुई तकनीकी समस्या से निपटने में मदद करते हैं।