Samsung Electronics en ASML bereik hoë numeriese diafragma EUV-koopooreenkoms

Samsung Electronics het 'n koopooreenkoms met ASML bereik vir EUV-toerusting met 'n hoë numeriese opening om die gebruik van die tegnologie in die vervaardiging van DRAM-geheueskyfies en logikaskyfies te verseker.