ASML的Twinscan NXE:3800E系統效能提升

根據ASML發布的2021版路線圖，Twinscan NXE:3800E系統將比上一代的3600D在對準精度和產能上有明顯提升，每小時吞吐量可達195片晶圓，相比3600D的160片提高了近22%，並有望達到220片的目標。