ASML の Twinscan NXE:3800E システム パフォーマンスの向上

ASMLが発表した2021年版のロードマップによると、Twinscan NXE:3800Eシステムは、前世代の3600Dと比較してアライメント精度と生産能力が大幅に向上し、1時間あたり最大195枚のウェーハというスループットを実現します。 3600D の 160 枚のウェーハは 22% 近くに達し、目標の 220 枚に達する見込みです。