ASML의 Twinscan NXE:3800E 시스템 성능 개선
2024-12-25 12:22
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ASML이 발표한 로드맵의 2021년 버전에 따르면 Twinscan NXE:3800E 시스템은 이전 세대 3600D에 비해 정렬 정확도와 생산 능력이 크게 향상되어 시간당 최대 195개의 웨이퍼 처리량을 갖습니다. 3600D의 160개 웨이퍼는 거의 22%이며 목표인 220개에 도달할 것으로 예상됩니다.
