Verbesserungen der Systemleistung Twinscan NXE:3800E von ASML

Laut der von ASML veröffentlichten Version 2021 der Roadmap wird das Twinscan NXE:3800E-System im Vergleich zur Vorgängergeneration 3600D deutliche Verbesserungen in der Ausrichtungsgenauigkeit und Produktionskapazität aufweisen, mit einem Durchsatz von bis zu 195 Wafern pro Stunde, was mehr ist als Die 160 Wafer des 3600D betragen knapp 22 % und werden voraussichtlich das Ziel von 220 Stück erreichen.