Améliorations des performances du système Twinscan NXE:3800E d'ASML

Selon la version 2021 de la feuille de route publiée par ASML, le système Twinscan NXE:3800E présentera des améliorations significatives en termes de précision d'alignement et de capacité de production par rapport à la génération précédente 3600D, avec un débit allant jusqu'à 195 plaquettes par heure, ce qui est supérieur à les 160 tranches du 3600D près de 22%, et devrait atteindre l'objectif de 220 pièces.