Улучшение производительности системы ASML Twinscan NXE:3800E

Согласно версии дорожной карты на 2021 год, опубликованной ASML, система Twinscan NXE:3800E будет иметь значительные улучшения в точности выравнивания и производственной мощности по сравнению с предыдущим поколением 3600D, с пропускной способностью до 195 пластин в час, что выше, чем 160 пластин 3600D Почти 22% и, как ожидается, достигнет цели в 220 штук.