ASML Twinscan NXE:3800E sistem performansı iyileştirmeleri

ASML tarafından yayınlanan yol haritasının 2021 versiyonuna göre Twinscan NXE:3800E sistemi, önceki nesil 3600D'ye kıyasla hizalama doğruluğu ve üretim kapasitesi açısından önemli iyileştirmeler sağlayacak ve bu da saatte 195 levhaya ulaşabilecek. 3600D'nin 160 adet gofretinin yaklaşık %22'si ve 220 adet hedefine ulaşması bekleniyor.