Îmbunătățirea performanței sistemului Twinscan NXE:3800E de la ASML

Conform versiunii 2021 a foii de parcurs lansată de ASML, sistemul Twinscan NXE:3800E va avea îmbunătățiri semnificative în precizia de aliniere și capacitatea de producție în comparație cu generația anterioară 3600D, cu un debit de până la 195 de wafer-uri pe oră, ceea ce este mai mare decât cele 160 de napolitane ale modelului 3600D aproape 22% și se așteaptă să atingă ținta de 220 de bucăți.