北京大學微納電子裝置與整合技術全國重點實驗室介紹

北京大學電子學院是國內領先的微納電子及積體電路科技研究與教育基地。該學院擁有完整的微米/奈米加工製程線，研究內容包括MEMS陀螺儀、加速度計等一系列MEMS裝置。