北京大学のマイクロ・ナノ電子デバイスと集積技術の国家重点研究室の紹介

北京大学電子工学院は、マイクロ・ナノエレクトロニクスおよび集積回路技術における国内有数の研究教育拠点です。同大学は完全なミクロン/ナノ加工技術ラインを有しており、その研究内容にはMEMSジャイロスコープや加速度計などの一連のMEMSデバイスが含まれます。