三星電子投資智慧感測器項目

三星電子正在為其智慧感測器計畫投入數千萬韓元的資金，希望透過長期投資獲得回報。這些智慧感測器用於測量晶圓上的等離子體均勻性，這對於半導體製造過程中的蝕刻、沉積和清潔等製程至關重要。