삼성전자, 스마트 센서 프로젝트에 투자

삼성전자가 스마트 센서 사업에 수천만 원을 쏟아 붓고 장기 투자 수익을 노리고 있다. 이러한 스마트 센서는 웨이퍼 전체의 플라즈마 균일성을 측정하는 데 사용되며, 이는 반도체 제조의 에칭, 증착, 세척과 같은 공정에 중요합니다.