中國科學院微電子研究所獲中國專利銀獎

中國科學院微電子研究所在「半導體裝置的製造方法」領域的突破，使其成功獲得了第二十五屆中國專利銀獎。這項成就標誌著我國在半導體裝置製造領域的科學研究實力得到了國際認可。