炭化ケイ素CMP装置分野におけるJingyijingの4つの主要な革新的利点

8 インチ SiC ウェーハの生産プロセスで遭遇するさまざまな課題に直面して、Jingyi Micro は、長年にわたる研究開発検証計画を通じて、ユニークで効率的な 6/8 インチ互換 CMP 装置 Horizo​​n-T と包括的なプロセス ソリューションを開発しました。この装置には、プロセス切り替えの容易さ、自動化レベルの高さ、洗浄装置の稼働率の高さという 4 つの大きな利点があり、お客様のコスト削減、効率の向上、生産の安定化に効果的に役立ちます。