Jingyijing цахиур карбидын CMP тоног төхөөрөмжийн салбарт дөрвөн томоохон шинэлэг давуу тал

0
8 инчийн SiC хавтан үйлдвэрлэх явцад тулгарсан янз бүрийн сорилттой тулгарсан Jingyi Micro нь олон жилийн судалгаа, боловсруулалтын баталгаажуулалтын төлөвлөгөөний дагуу өвөрмөц бөгөөд үр ашигтай 6/8 инчийн CMP төхөөрөмж Horizon-T болон процессын цогц шийдлүүдийг боловсруулсан. Энэхүү тоног төхөөрөмж нь 4 гол давуу талтай: процессыг хялбархан солих, өндөр автоматжуулалтын түвшин, цэвэрлэгээний тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын түвшин нь хэрэглэгчдэд зардлаа бууруулах, үр ашгийг нэмэгдүүлэх, үйлдвэрлэлийг тогтворжуулахад үр дүнтэй тусалдаг.