TSMC و سامسونگ قصد دارند از دستگاه لیتوگرافی EUV با دیافراگم عددی بالا ASML استفاده کنند

0
TSMC و سامسونگ قصد خود را برای استفاده از دستگاههای لیتوگرافی EUV با دیافراگم عددی بالا تایید کردهاند. هر دو شرکت به دنبال بهبود پیچیدگی فناوری تولید تراشه هستند.