北方华创推出8英寸碳化硅外延产品

北方华创在碳化硅外延设备领域推出了8英寸产品。该公司在8英寸衬底基础上，已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试，外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，已达到行业领先水平。