Axcelis获日本功率器件制造商订单，交付Purion EXE™ SiC高能离子注入机

Axcelis宣布向日本领先的功率器件芯片制造商交付Purion EXE™ SiC高能离子注入机，并完成Purion H200™ SiC离子注入机的评估闭环，这些设备将用于150mm和200mm碳化硅功率器件的生产。