Uvod v vrste fotolitografskih strojev in glavne modele ASML

Vrste litografskih strojev so v glavnem razdeljene na I-line, KrF, ArF suho metodo, ArF potopni tip in EUV. Med njimi je EUV najnaprednejši tip. Glavni modeli ASML vključujejo: I-line XP serija 400/450, ki ustreza procesu 300~500 nm; KrF's XT860/1060, ki ustreza procesu 180~130 nm; Približno 0~65 nm; ArF potopljena serija XT1900 in NXT, vključno z NXT1950/1965/1970/1980 in NXT2000/2050/2100, ustreza procesom pod 45 nm. Glavni model EUV je NXE3400/3600, kar ustreza pod 7nm.