გაცნობა ფოტოლითოგრაფიული მანქანების ტიპებსა და ASML-ის ძირითად მოდელებს

ლითოგრაფიული მანქანების ტიპები ძირითადად იყოფა I-line, KrF, ArF მშრალი მეთოდით, ArF ჩაძირვის ტიპად და EUV. მათ შორის EUV არის ყველაზე მოწინავე ტიპი. ASML-ის ძირითადი მოდელებია: I-line XP 400/450 სერია, რომელიც შეესაბამება 300 ~ 500 ნმ პროცესს, რომელიც შეესაბამება 180 ~ 130 ნმ პროცესს, რომელიც შეესაბამება პროცესის კვანძს; დაახლოებით 0 ~ 65 ნმ; EUV-ის მთავარი მოდელია NXE3400/3600, რომელიც შეესაბამება 7 ნმ-ზე დაბლა.