Inleiding tot fotolitografiemasjientipes en hoof ASML-modelle

Die tipes litografie masjiene word hoofsaaklik verdeel in I-line, KrF, ArF droë metode, ArF onderdompeling tipe en EUV. Onder hulle is EUV die mees gevorderde tipe. ASML se hoofmodelle sluit in: I-line XP 400/450 reeks, wat ooreenstem met die proses van 300~500nm KrF se XT860/1060, wat ooreenstem met die proses van 180~130nm, droë proses XT1400/1460/1700, wat ooreenstem met die proses node 13; Ongeveer 0~65nm; ArF-onderdompelde XT1900- en NXT-reekse, insluitend NXT1950/1965/1970/1980 en NXT2000/2050/2100, stem ooreen met prosesse onder 45nm. Die hoofmodel van EUV is NXE3400/3600, wat ooreenstem met minder as 7nm.