Ojekuaauka umi tipo máquina fotolitografía rehegua ha umi modelo ASML principal rehegua

Umi tipo de máquina litografía rehegua oñemboja o principalmente línea I, KrF, método seco ArF, tipo de inmersión ArF ha EUV-pe. Umíva apytépe, EUV ha’e pe tipo oñemotenondevéva. ASML modelo tenondegua apytépe oĩ: I-line XP 400/450 serie, okorrespondéva proceso 300 ~ 500nm, okorrespondéva proceso 180 ~ 130nm, okorrespondéva nodo proceso 13; 0~65nm rupi; Pe modelo principal EUV rehegua haꞌehína NXE3400/3600, okorrespondéva 7nm guýpe.