Rapidus는 2nm GAA 반도체 공정 제조를 발전시키기 위해 최초의 ASML EUV 리소그래피 기계를 구입했습니다.
2024-12-26 11:14
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Rapidus는 자사가 구매한 최초의 ASML TWINSCAN NXE:3800E 리소그래피 기계가 IIM-1 공장에 납품 및 설치되었다고 발표했습니다. 최첨단 반도체 대량 생산을 위한 일본 최초의 EUV 노광 시스템입니다. 이 노광기는 Rapidus의 1세대 양산 공정인 2nm의 제조 요구 사항을 충족할 수 있으며, 이전 NXE:3600D에 비해 웨이퍼 처리량은 37.5% 증가했습니다.
