Η Rapidus αγοράζει την πρώτη μηχανή λιθογραφίας ASML EUV για να προωθήσει την κατασκευή ημιαγωγών GAA 2 nm

95
Η Rapidus ανακοίνωσε ότι η πρώτη μηχανή λιθογραφίας ASML TWINSCAN NXE:3800E που αγόρασε παραδόθηκε και εγκαταστάθηκε στο εργοστάσιο IIM-1. Αυτό είναι το πρώτο σύστημα λιθογραφίας EUV της Ιαπωνίας για μαζική παραγωγή ημιαγωγών αιχμής. Αυτό το μηχάνημα λιθογραφίας μπορεί να καλύψει τις ανάγκες κατασκευής της πρώτης γενιάς διαδικασίας μαζικής παραγωγής 2nm της Rapidus Σε σύγκριση με το προηγούμενο NXE:3600D, η απόδοση της γκοφρέτας έχει αυξηθεί κατά 37,5%.