Рапидус купује прву АСМЛ ЕУВ литографску машину за унапређење производње полупроводничких процеса од 2нм ГАА

95
Рапидус је објавио да је прва АСМЛ ТВИНСЦАН НКСЕ:3800Е литографска машина коју је купио испоручена и инсталирана у фабрици ИИМ-1. Ово је први јапански систем ЕУВ литографије за масовну производњу најсавременијих полупроводника. Ова литографска машина може да задовољи производне потребе Рапидусовог процеса масовне производње прве генерације 2нм У поређењу са претходним НКСЕ:3600Д, пропусност вафера је повећана за 37,5%.