Кампанія Rapidus набывае першую літаграфічную машыну ASML EUV для прасоўвання працэсу вытворчасці паўправаднікоў GAA па 2-нм тэхналогіі

Кампанія Rapidus абвясціла, што першая набытая літаграфічная машына ASML TWINSCAN NXE:3800E была дастаўлена і ўстаноўлена на заводзе IIM-1. Гэта першая ў Японіі сістэма літаграфіі EUV для масавай вытворчасці перадавых паўправаднікоў. Гэтая літаграфічная машына можа задаволіць вытворчыя патрэбы першага пакалення працэсу масавай вытворчасці Rapidus 2nm. У параўнанні з папярэдняй версіяй NXE:3600D прапускная здольнасць пласцін павялічылася на 37,5%.