Rapidus ostab esimese ASML EUV litograafiamasina, et edendada 2nm GAA pooljuhtprotsessi tootmist

Rapidus teatas, et esimene ASML TWINSCAN NXE:3800E litograafiamasin, mille ta ostis, on tarnitud ja paigaldatud IIM-1 tehases. See on Jaapani esimene EUV litograafiasüsteem tipptasemel pooljuhtide masstootmiseks. See litograafiamasin suudab rahuldada Rapiduse esimese põlvkonna masstootmisprotsessi tootmisvajadusi 2nm Võrreldes eelmise NXE:3600D-ga, on vahvli läbilaskevõime kasvanud 37,5%.