ASML, High NA EUV 리소그래피 시스템 모듈의 첫 번째 배치 납품

식 월 연구 높은 연구 끝 높은 리소그래피 2023 개발
2024-12-26 21:14
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10년 간의 연구 개발 끝에 ASML은 2023년 12월 Intel에 최초의 High NA(높은 개구수) EUV 리소그래피 시스템을 공식적으로 전달했습니다. 단계.


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