ASML пастаўляе першую партыю модуляў сістэмы літаграфіі High NA EUV

Пасля дзесяці гадоў даследаванняў і распрацовак кампанія ASML афіцыйна паставіла першую сістэму літаграфіі EUV з высокай лічбавай апертурай (High NA) для Intel у снежні 2023 года - першыя модулі TWINSCAN EXE:5000, якія ўяўляюць сабой важны крок наперад у перадавой вытворчасці чыпаў. крок.